Спектрометры тлеющего разряда

Быстрый, одновременный  послойный элементный анализ многослойных структур всех интересующих элементов, включая азот, кислород, водород, фтор, углерод и хлор. Определение толщины слоев в реальном масштабе времени, а также их оптических, механических и коррозионных свойств.