Эллипсометр Smart SE

Эллипсометр Smart SE Эллипсометр Smart SE
Smart SE, мощный и экономичный спектроскопический эллипсометр Smart SE от HORIBA Scientific - это универсальный спектроскопический эллипсометр для быстрых и точных измерений тонкой пленки . Он характеризует толщину тонкой пленки от нескольких ангстрем до 20 мкм, оптические константы (n, k) и свойства тонкой пленки (такие как шероховатость, оптические градуированные и анизотропные слои и т. Д.).
Рассказать друзьям

Спектральный диапазон от 450 до 1000 нм измеряется за несколько секунд, а эллипсометрические данные анализируются с использованием программной платформы DeltaPsi2. Программное обеспечение объединяет два уровня программного обеспечения для выполнения как рутинного анализа с помощью предопределенных рецептов, так и расширенного анализа с использованием современного эллипсометрического моделирования.

Эллипсометр Smart SE представляет собой рентабельный тонкопленочный R & D-инструмент без каких-либо компромиссов по функциям и обеспечивает экономическую эффективность исследований . Он представляет собой интегрированную систему видения для точного позиционирования пятна, семь автоматизированных микрозондов размером до нескольких десятков микрон для измерения малых объектов и возможность измерения всей 16-элементной матрицы Мюллера всего за несколько секунд для изучение сложных образцов .

Спектральный диапазон: От 450 до 1000 нм
Разрешение спектров Лучше 3нм
Источник света Комбинированный галогеновый и синий светодиод
Время измерения От 1сек до 10 с
Размер луча

75 мкм * 150 мкм, 100 мкм * 250 мкм,

100 мкм * 500 мкм, 150 мкм * 150 мкм,

250μm * 250μm, 250μm * 500μm,

* 500 мкм 500 мкм

Угол падения 45 0 90 0 с шагом 5 0
Размер образца До 200 мм
Выравнивание выборки Ручная регулировка высоты и наклона 17 мм
Габаритные размеры 100cm * 46cm * 23cm (W * H * D)

Выступления
Точность сквозного воздушного потока Ψ = 45 0 ± 0,05 0 Δ = 0 0 ± 0,2 0
Точность толщины на 1000 Å Оксид 0,04%
Повторяемость толщины на 1000 Å оксиде ± 0,02%

pdf

Есть вопросы — спрашивайте!

Наши специалисты помогут Вам, окажут бесплатную консультацию или запишут на приём
Вернуться