Спектральный эллипсометр Auto SE

Спектральный эллипсометр Auto SE Спектральный эллипсометр Auto SE

Быстрый, простой и полностью автоматизированный эллипсометр для типовых приложений.

  • широкий спектральный диапазон – от 440 до 1000 нм;
  • визуализация образца, анализ толщин и оптических константа менее, чем за 5 секунд;
  • точность определения показателя преломления до 0,002.



Рассказать друзьям

Эллипсометр Auto SE объединяет максимальную эффективность анализа тонких пленок и простоту работы на приборе. Позволяет проводить исследования в полностью автоматическом режиме, путем нажатия одной кнопки. Измерение образца занимает всего несколько секунд, и результирующий отчет полностью описывает тонкопленочную структуру – толщины слоев, оптические константы, шероховатость поверхности и неоднородность слоев.

Прибор даже в стандартной конфигурации оснащен богатым пакетом опций: XYZ столик, наблюдение образца в видеокамеру в реальном времени, автоматический выбор размера аналитического пятна, диагностические датчики для автоматического контроля неисправностей. Широкий набор аксессуаров доступен для большого круга приложений.


Основные преимущества:

  • Легкий и удобный анализ тонких пленок;
  • Богатая базовая конфигурация;
  • Система наблюдения образца;
  • Аналитический микропучок минимально до 25x60 мкм;
  • Широкий выбор аксессуаров.
Параметры Значение

Спектральный диапазон, нм

440 – 1000

Размеры аналитического пятна: автоматический выбор, мкм

500x500; 250x500; 250x250; 70x250;
100x100; 50x60; 25x60

Система регистрации

ПЗС

Разрешение, нм

2

Столик образца

вакуумный прижим

Подстройка по высоте, мм

40

Визуализация образца

ПЗС камера

Поле наблюдения, мм

1,33 х 1

Разрешение, мкм

10

Гониометр, град

фиксированный при 70
по заказу на 66 или 61,5

Время измерения, сек

менее 2
типичное - 5

Точность

NIST 100 нм d ± 4 ангстрема, n(632,8 нм) ± 0,002

Воспроизводимость

NIST 15 нм ± 0,2 ангстрема

pdf
UVISEL_en.pdf
Скачать: PDF, 2 МБ
pdf
UVISEL_ru.pdf
Скачать: PDF, 618.6 КБ

Есть вопросы — спрашивайте!

Наши специалисты помогут Вам, окажут бесплатную консультацию или запишут на приём
Вернуться